Ellipsometer

Lo refleja en la superficie de la muestra, y la luz tomada a préstamo ocurre cuando expongo una muestra para encenderme. Puedo dividir la luz tomada a préstamo en dos ingredientes de la luz p-polarized y la luz s-polarized, y este estado de polarización llama tal método para la medida con ellipsometry porque generalmente está en un óvalo (Eli Cal menudo). Evalúo el número fijo de la óptica o el grosor de la película de la muestra cambiando la longitud de onda de la luz para exponer una muestra a y midiendo la diferencia de la fase Δ (delta) y proporción de amplitud Ψ (psi) de la luz tomada a préstamo.

No sólo la evaluación transparente que era posible para sino también la evaluación de proceso transparente (el En - situ medida) fabricación de ello es posible después de que la medida es posible en el no destructivo ya que son medidas ópticas ya que el tiempo de medida es poco y lo termina. Así como el número fijo óptico y grosor de la película, puedo realizar reflectance, transmissivity, una evaluación de la estructura del grupo, evaluaciones como la densidad del transportista eligiendo la longitud de onda de la luz para acertar.

Como mido el plano ligero, superficial tomado a préstamo se busca. Se considera que el número de la parte de longitudes de onda de la luz para acertar es un límite. Además, la medida se hace difícil porque la película metálica luz absorbente viene para haber tomado a préstamo poco la luz. Depende de un tipo metálico, pero un grosor de la película del número 100nm completamente se hace el límite de medida. Cada grosor de la película cuando laminado de películas plural está disponible para la medida, pero las asunciones de las capas del interfaz que en este caso existen entre una película y películas pueden ser necesarias, y es necesario presentar un modelo y simular un cálculo. Por lo tanto un cálculo se complica, y la interpretación del resultado se puede hacer difícil.

Un número del modelo del dispositivo: SE-2000 semilaboratorio de Japón
Tiempo de introducción: Febrero de 2016

Son 6,400 yenes en un grosor de la película, la medida del número fijo óptica 1 muestra 1 punto de medida

• Hago la suma de los honorarios de materiales especiales, una cosa que necesita el trabajo y un estudio o la investigación con la equivalencia de gastos actual suma sobre un examen, análisis o una preparación.
• Hago la suma de los honorarios de la cosa que pone un límite de tiempo y corre prisa o los honorarios del uso con una suma 2 veces más grande que una suma para ponerse.
• La suma (cuando hay una fracción menos de 100 yenes, acabo la cantidad de dinero de fracción a 100 yenes.) de 1.3 veces de la suma para hacer que la suma de unos honorarios modifique la solicitud de cualquiera además del negocio medio y con el pequeño tamaño (el sitio exterior) que es una persona que tiene una oficina o una oficina en Yokohama-shi, y se puso en la ley fundamental de empresas pequeñas y medias el Artículo 2 o los honorarios para modificar un examen de la película por un grosor de la película, la medida del número fijo de la óptica para modificar la solicitud de la persona excepto el negocio medio y con el pequeño tamaño que es la persona que no tiene la oficina de la ciudad o una oficina, y era el juego del artículo Hago esto.